HCP421V-MPS XYZ模塊化變溫探針臺(tái)
HCP421V-MPS Instec的真空型mini臺(tái)式探針臺(tái)系列是可從外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái)，涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化
·mimi型溫控探針臺(tái)，可集成到各種光學(xué)設(shè)備
·可編程控溫，涵蓋-190℃~400℃
·適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件
·可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用
·獨(dú)立的四個(gè)探針，可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針,
·模塊化設(shè)計(jì)，可自由組合
·可升級(jí)為8個(gè)獨(dú)立探針
·可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
·SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針，手動(dòng)點(diǎn)針
·可選三同軸接口，用于pA級(jí)測(cè)試
溫控參數(shù)
溫度范圍
-190℃ ~ 400℃（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）
傳感器/溫控方式
100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源）
*大升溫速率
30℃/min
*小溫控速度
±0.01℃/min
溫度分辨率
0.01℃ RTD傳感器
溫度穩(wěn)定性
±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
軟件功能
可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線
電學(xué)參數(shù)
探針
默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針
可從外部XYZ移動(dòng)的探針臂
點(diǎn)針
從外部移動(dòng)點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置
探針接口
默認(rèn)為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC
*可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）
樣品臺(tái)面電位
默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口
光學(xué)參數(shù)
適用光路
反射光路
窗片
可拆卸與更替的窗片
*小物鏡工作距離
8/12（可選）mm *截面圖中WD
上蓋窗片觀察
窗片范圍φ45mm，*大視角±50° *截面圖中θ1
負(fù)溫下窗片除霜
吹氣除霜管路
結(jié)構(gòu)參數(shù)
適用樣品
26 mm 直徑（標(biāo)準(zhǔn)）
樣品腔高
4/8 mm （可選）
粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY粗調(diào)20mm
XY微調(diào)行程10mm,Z微調(diào) 3mm
10um
真空腔，也可充入保護(hù)氣體
可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg
配置列表 基本配置 真空型臺(tái)式探針臺(tái)、mK2000B溫控器 可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測(cè)試源表、三同軸BNC、臺(tái)面電懸空、樣品接電引線
配置列表
基本配置
真空型臺(tái)式探針臺(tái)、mK2000B溫控器
可選配件
安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測(cè)試源表、三同軸BNC、臺(tái)面電懸空、樣品接電引線